国知识产权局信息显示东莞海绵专用胶厂，卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司申请项名为“具有将次粒子光学束路径与二次粒子光学束路径分开的磁体装置以增进能的粒子光学装置、特别是多束粒子显微镜”的利东莞海绵专用胶厂东莞海绵专用胶厂，公开号CN121605501A，申请日期为2024年7月。
利摘要显示，所揭露的是种粒子光学装置，其提供次粒子光学束路径和二次粒子光学束路径，次粒子光学束路径用于多个个别粒子束，其从多束粒子产生器发出并被引至可定位于所述装置的物平面中的物体，二次粒子光学束路径用于从物体发出的多个二个别粒子束。粒子光学装置具有磁体装置，磁体装置具有磁场区域，次粒子光学束路径和二粒子光学束路径穿过该磁场区域，用于将次粒子光学束路径和二次粒子光学束路径彼此分开。磁体装置还具有二磁场区域，万能胶厂家其配置在次粒子光学束路径中并且不布置在二次粒子光学束路径中，二磁场区域相对于次粒子光学束路径配置在磁场区域的上游，且磁场区域和二磁场区域使次粒子光学束路径在不同向上偏转。磁场区域的出射倾斜角度σ1≠0°，其中出射倾斜角度σ1被定义为出射区域的对准向偏离次粒子光学束路径的粒子光轴Z的法线的角度。
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